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1 、大族激光（002008）：2020年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3- 5μm ，主要聚焦在分立器件 、LED等领域的应用 ，今年有望实现小批量销售 。 2、张江高科（600895）：公司在互动平台表示，上海张江浩成创业投资有限公司2016年投资了 上海微电子装备有限公司22,345万元，投资比例为10.779%。 3 、晶方科技（603005）：公司在互动平台表示 ，荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰 Anteryon公司的最主要客户之一 。Anteryon为全球同时拥有混合镜头 、晶圆级微型光学器件工艺 技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司 ，其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自 动化 、汽车 、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域 。 4 、赛微电子（300456）：公司在互动易平台披露：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系 统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。ASML为公司商业合作伙伴。公司瑞典与北京分别拥有 数台光刻机；瑞典产线2017-2019年产能利用率一直保持在80%以上的高水平 5 、万业企业（600641）：全资子公司凯世通采取“领先一步”的策略、采用有国际竞争力的设 计理念，着力研制16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机 ，并针对研制低能大束流离子 注入机所需要解决的关键技术和技术难点 ，建立起相应的研发平台 、相关核心关键技术及工艺的 研究参数数据库和性能检测规范标准 。2019年凯世通的低能大束流离子注入机迁机成功，顺利进 入离子注入晶圆验证阶段 。参股公司上海半导体装备材料基金持有华卓精科2.08%股权。 6 、上海新阳（300236）：公司在互动易平台表示 ，中芯国际是公司的主要客户之一 。2020年2 月 ，公司在互动易平台披露，公司KRF光刻机能支持96层3D NAND用光刻胶研究 ，及250nm、 130nm工艺制程逻辑电路用光刻胶研究 。公司正在加快开发第三大核心技术——光刻技术 ，在集 成电路制造用ArF干法 、KrF厚膜胶 、I线等高端光刻胶领域已有重大突破。同时，积极布局半导体 硅片、半导体湿法工艺设备 、平板液晶显示用光刻胶等业务领域 。 7 、南大光电（300346）：超募资金投资 ”ArF光刻胶产品的开发与产业化 ”项目 。 8、飞凯材料（300398）：公司从事PCB光刻胶专用化学品。 9、胜利精密（002426）：胜利精密计划募资不超过20亿元,投向光刻机产业化 。 10 、华特气体（688268）：华特气体是特种气体龙头企业 。 11 、福晶科技（002222）：公司是全球最大的LBO、BBO晶体供应商 ，也是全球重要的Nd： YVO4晶体供应商 ，控股子公司青岛海泰光电技术有限公司是国内最大的KTP晶体生产商。公司产 品已被全球各大激光器公司广泛采用，公司与客户建立了良好的合作关系，在客户中享有良好的 声誉 ，并树立了良好的品牌形象 。公司品牌“CASTECH”已在全球激光界树立了高技术 、高品 质 、优服务的市场形象 ，核心产品被国际业界誉为“中国牌晶体 ” 。 12、智光电气（002169）：粤芯采购的是荷兰ASML阿斯麦公司的光刻机。智光电气间接持有粤 芯半导体股权。 13 、容大感光（300576）：公司为拓展业务范围及产品应用领域,投资设立控股子公司上海芯刻微 材料技术有限责任公司进行193nm干法光刻胶研发及产业化项目 。 14 、强力新材（300429）：公司从事PCB刻胶专用化学品 。 15、晶瑞股份（300655）：该公司光刻胶产品已经通过中芯国际上线测试并取得订单。 16 、光华科技（002741）：针对面板行业对光阻材料的巨大需求，公司引入韩国光阻材料供应商 SMS 、KISCO、DKC ，国内部分客户已进入材料打样测试认证阶段 ，下一步公司将配合客户逐步 实现量产 。 17 、蓝英装备（300293）公司在互动平台称：公司瑞士子公司UCMAG主要为光学和精密仪器行 业提供清洗设备 。对于精密光学 、医学工程、精密机械以及PVD、CVD涂层前清洗等典型的清洁 度要求最高的应用领域，公司在精密清洗业务板块的代表产品UCM系统可提供全套个性化的设备 及解决方案。凭借行业领先的技术实力 ，UCMAG为ASML（荷兰光刻机制造商阿斯麦公司）及其 供应商提供极紫外光刻机（EUV）的光学系统相关关键部件的清洗设备 。 18 、江化微（603078）：公司孙公司无锡澄泓生产的产品主要是光刻胶剥离液 ，目前主要用在液 晶面板领域 。 19 、高盟新材（300200）：公司主营业务为超净高纯试剂、光刻胶配套试剂等湿电子化学品的研 发 、生产和销售。 20 、奥普光电（002338）：公司从事的主要业务为光电测控仪器设备、光学材料和光栅编码器等 产品的研发 、生产与销售 。2020年5月31日互动平台讯，公司大股东长春光机所正在研发更高水 平的光刻机曝光系统 。 21 、西陇科学（002584）：公司是一家专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售的高新技 术企业 ，主导产品包括超净高纯试剂 、光刻胶 、功能性材料、锂电池材料和基础化工材料等。 22 、同益股份（300538）：2019年3月13日公司互动平台披露博砚电子为宝通辰韬投资,该公司 是一家研发 、生产光阻的厂家,主要产品为彩色滤光片用光阻黑色矩阵光阻、感光间隙材料,产品广 泛适用于液晶显示屏、印刷电路和集成电路以及印刷制版等 。 23 、广信材料（300537）：2018年公司主营业务产品仍以光刻胶专用化学品为主,分为光刻胶用 光引发剂和光刻胶树脂两大系列 。
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